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本文提出了一种用于TPMS(胎压监测系统)的单片集成压力-加速度微传感器.介绍了微传感器的主要结构和工作原理,并对微传感器研制过程中的关键技术进行了详细地分析和探讨.
基于MEMS技术的单片集成压力-加速度微传感器的研究
【摘 要】
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本文提出了一种用于TPMS(胎压监测系统)的单片集成压力-加速度微传感器.介绍了微传感器的主要结构和工作原理,并对微传感器研制过程中的关键技术进行了详细地分析和探讨.
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,西安,710071
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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