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本文采用低成本的化学水浴法，在Cu衬底上制备了In2S3薄膜，再通过后期的热处理制备CIS薄膜。用XRD、SEM、EDS对制备的薄膜进行了表征，并比较了不同的热处理工艺得到的薄膜的差别。
Cu衬底上化学水浴法生长In2S3制备CuInS2薄膜
【摘 要】
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本文采用低成本的化学水浴法，在Cu衬底上制备了In2S3薄膜，再通过后期的热处理制备CIS薄膜。用XRD、SEM、EDS对制备的薄膜进行了表征，并比较了不同的热处理工艺得到的薄膜的差别
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,浙江 杭州 310027
【出 处】
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第十一届中国光伏大会暨展览会
【发表日期】
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2010年期
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