基于谱域低相干的金属裂纹测量技术研究

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金属裂纹将会影响到材料的实用性和安全性,是无损检测中关注的重要特征之一,尤其是对微观裂纹检测时,对高分辨率的获取、裂纹的三维重构较为困难,是重要的检测对象.本文基于谱域低相干原理构建微观裂纹检测系统,用850nm波段红外宽带光源,将金属裂纹作为迈克尔逊干涉仪的样品臂,并通过透射式衍射光栅将干涉信号衍射到线阵CCD,采用LabVIEW编程对接收信号进行光谱校正,实现对金属裂纹的深度、宽度以及起始点位置的高精度测量.实验系统测量中通过设计光源参数、光谱仪的波长分辨率和透镜系统参数得到了优于10微米的空间分辨率.
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