【摘 要】
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在密封电子元器件的生产、交付与验收过程中,按产品总规范、详细规范或合同的规定,同一密封件可能需经受多次密封性氦质谱细漏检测.首次检测采用压氦法或预充氦法,经长时间存
【机 构】
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北京市科通电子继电器总厂有限公司,北京 100041
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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在密封电子元器件的生产、交付与验收过程中,按产品总规范、详细规范或合同的规定,同一密封件可能需经受多次密封性氦质谱细漏检测.首次检测采用压氦法或预充氦法,经长时间存放,尤其超过最长候检时间时,会存在无法检测的现象.当超过密封件细漏检测的最长候检时间时,应再次压氦,然后进行细检漏.按现行的各种规范的规定,压氦法和预充氦法再压氦的条件、程序和判据一般均与首次压氦相同,但分析表明,这样可能会使测量漏率判据出现成倍或更大的偏差,有时会出现大漏的漏检和细漏的错判.本文通过研究,推演出多次压氦法和预充氦压氦法的测量漏率判据公式,给出了相应的压氦条件和细检漏的最长候检时间,从而更为便捷准确地解决了长候检时间下的密封性检测问题.
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