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超薄NbN/AlN/NbN外延生长约瑟夫森隧道结的制备与特性研究

来源 :第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ryterj45

【作 者】

：

张栖瑜 

【机 构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

【出 处】

：

第十四届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会

【发表日期】

：

2016年5期

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