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@@阴极荧光（Cathodoluminescence.CL，如图l示）和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜上的两个附件。由于目前场发射扫描电镜的电子束斑尺寸一般在1 ~2 nm，而CL和EBIC正是利用场发射电子枪发出的电子束作为激发源，其空间分辨率可达到纳米量级。