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采用自动化实时检测，控制金属Ti蒸发镀膜的厚度尺寸而得到极薄实用化型薄膜。使用相干光学与扫描电子显微镜测量了极薄型薄膜的厚度在90到100nm前后。该方法可以简单的使用在各种种类的各种导电性的极薄薄膜的厚度测量中。
实用化金属极薄型膜厚相干光学测量
【摘 要】
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采用自动化实时检测，控制金属Ti蒸发镀膜的厚度尺寸而得到极薄实用化型薄膜。使用相干光学与扫描电子显微镜测量了极薄型薄膜的厚度在90到100nm前后。该方法可以简单的使
【机 构】
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广西民族大学信息科学与工程学院 南宁 530000
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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