建筑风洞实验中的微薄型动态微压传感器

来源 :第十二届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：allanvte001

【摘要】

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　　本文介绍了一种建筑风洞中建筑物风载荷实验用的微薄型动态微压风载荷传感器，它使用先进的MEMS微机电技术设计与制造，量程1-2.5Kpa的压阻微差压敏感元件采用了双岛梁膜复合

【作者】

：

王冰王文襄

【机构】

：

昆山双桥传感器测控技术有限公司

【出处】

：

第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

：

2012年期

【关键词】

：

建筑风洞风洞实验薄型风载荷载荷传感器差压敏感元件微机电技术设计与制造

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　　本文介绍了一种建筑风洞中建筑物风载荷实验用的微薄型动态微压风载荷传感器，它使用先进的MEMS微机电技术设计与制造，量程1-2.5Kpa的压阻微差压敏感元件采用了双岛梁膜复合力敏结构，从而确保了低量程较高精度下的高灵敏度和优良动态性能，芯片制作中和传感器制作中采用了微封装技术和无应力生产技术，确保了产品的稳定性和适用性.

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