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用脉冲激光沉积法制备镍薄膜,在镍薄膜上用等离子体浸没式注入法注入氮离子,通过控制注入电压、注入时间制备了不同的氮化镍薄膜.利用X射线衍射仪、霍尔效应测试系统等表征手段,研究了氮化镍薄膜的结构和电学性能.采用基于密度泛函理论的第一性原理计算方法模拟了氮化镍的能带结构.
氮化镍薄膜的制备和电学性能研究
【摘 要】
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用脉冲激光沉积法制备镍薄膜,在镍薄膜上用等离子体浸没式注入法注入氮离子,通过控制注入电压、注入时间制备了不同的氮化镍薄膜.利用X射线衍射仪、霍尔效应测试系统等表征手
【机 构】
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复旦大学材料科学系 上海市邯郸路220号 200433
【出 处】
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第十四届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2014年期
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