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本文阐述了高声速SAW复合结构材料SiO2/ZnO/金刚石/Si及其器件的研究进展情况,给出了该复合结构材料及其器件的制作方法和实验结果.ZnO膜体电阻率ρ,达到1.9×109 Ω.cm。ZnO薄膜C轴垂直取向度2σ达到2.70.用SiO2/ZnO/金刚石/Si压电材料研制出了SAW滤波器。其瑞利波模式相速度Vp0:4236m/s；西沙瓦波模式相速度Vp1:7151m/s,Vp2:11065m/s。实验发现了HVPSAW,其相速度高达16931m/s。金刚石SAW器件插入损耗达到11.6dB。