【摘 要】
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本文研究了在硅基上的具有集中质量块、采用悬臂梁结构、梁上铺设单层ZnO压电薄膜的微加速度计的不同结构，详细讨论了压电式微加速度计的力学原理及结构参数设计，建立了传感器
【出 处】
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第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会
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本文研究了在硅基上的具有集中质量块、采用悬臂梁结构、梁上铺设单层ZnO压电薄膜的微加速度计的不同结构，详细讨论了压电式微加速度计的力学原理及结构参数设计，建立了传感器的数学模型，研究了压电层厚度、悬臂厚度、长度及宽度对微加速度计灵敏度的影响。进而利用有限元方法软件ANSYS对不同悬臂结构的微加速度计进行了分析，得到了不同形式微加速度计结构的模态及灵敏度等结果。
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