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本文主要探讨在使用低压化学气相沉积掺硼氧化锌前电极(LPCVD BZO)的情况下,硅基非晶-微晶薄膜电池背电极的选择方法.对比研究了PVD金属背电极与LPCVD BZO背电极的表现及其与电极制备方法和形貌的关联.正确的技术路线导致了正泰太阳能在自主集成产线上量产硅基叠层薄膜电池的稳定全面积效率达到10%以上.还讨论降低生产成本的路线图及组件的现场能源输出表现,并将展示硅基薄膜技术仍然是光伏产业中一个非常有竞争力的技术路线.