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2000年,Dietl等预言Mn掺杂ZnO具有室温磁性,从而引起人们对其研究的热潮.在Mn掺杂ZnO薄膜中又有文献报道共掺杂剂可以调节载流子浓度和磁性.采用脉冲激光溅射技术分别制备了Ga,Cr和Fe作为共掺杂剂的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射、场冷却和零场冷却测量结果表明薄膜均为单相结构,磁性和输运研究表明薄膜的磁性与共掺杂剂的种类有关,且薄膜的导电特性不同其磁性产生机制也不相同.另外,样品都表现出低温磁电阻效应.