GCr15轴承钢多周期(N,Ti)等离子体基离子注入层的成分、组织结构及耐磨性

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利用待离子体基离子注入,采用磁控测射沉积Ti与等离子体源离子注入N交替进行的方法,在GCr15轴承钢表面形成多周期(N,Ti)离子注入混合层。通过XPS分析研究该层的成分和化学价态,用TEM分析改性层的组织结构,并对该层与多弧离子镀形成的TiN层对磨的摩擦性能进行了研究。结果表明,表面改性层成分均匀,改性层与基体之间形成良好的成分过渡,表面改性层由α-Ti基体上分布的弥散TiN组成。经过此方法自理的GCr15钢与多弧离子镀TiN层对磨,具有良好的耐磨性。
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