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本文为了研究飞秒激光的烧蚀机理，从实验和分子动力学模拟的角度分析了飞秒激光烧蚀半导体材料的能量传输过程以及烧蚀过程的力学效应和阈值效应.认为在能量传输过程中，电子崩电离和多光子电离是飞秒激光烧蚀过程中材料吸收光子，产生自由电子的主要机制，并总结了分子动力学模拟中材料对激光能量吸收过程的描述方法；认为热应力是由激光能量的较大空间梯度导致的介质快速、不均匀膨胀引起的，且只有当激光能通量大于阈值能通量F0时烧蚀现象才会发生.