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本文根据硅压阻式压力传感器生产过程和出厂检验中的不合格现象，应用微电子学理论和电子元器件可靠性工程理论进行了原因分析，并从生产工艺角度提出了有效控制成品率提高可靠性的方法。
硅压阻式压力传感器失效分析
【摘 要】
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本文根据硅压阻式压力传感器生产过程和出厂检验中的不合格现象，应用微电子学理论和电子元器件可靠性工程理论进行了原因分析，并从生产工艺角度提出了有效控制成品率提高可
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2012年期
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