Applying Composition Control to Enhance the Mechanical and Thermal Properties of Zr-Cu-Ni-Al-N Thin

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:w_wallace
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This study focuses on the correlations among the compositions of Zr-Cu-Ni-Al-N thin film metallic glass (TFMG) and their properties.The TFMG was prepared by DC magnetron co-sputtering technique with Zr-Cu and Ni-Al targets.
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