【摘 要】
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在目前的光伏产业中,晶体硅太阳电池占据着主导地位.提升太阳能电池的效率、降低系统发电成本,实现光伏发电从补充能源向主流能源的跃进,必将需要一些突破性的技术来颠覆
【出 处】
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第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
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在目前的光伏产业中,晶体硅太阳电池占据着主导地位.提升太阳能电池的效率、降低系统发电成本,实现光伏发电从补充能源向主流能源的跃进,必将需要一些突破性的技术来颠覆传统.本报告对黑硅技术、等离子体掺杂制备PN技术和原子层沉积钝化技术进行了详细的研究.提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料,主要对黑硅制备机理、等离子体注入工艺参数对黑硅微观结构和反射率的影响、等离子体损伤的去除以及匹配的电池工艺进行了详细的研究,利用黑硅技术替代湿法制绒工艺,制备的多晶黑硅电池效率高达18％.利用等离子体注入技术对P型硅掺杂,掺杂后方块电阻非均匀性小于5％,通过合适的退火工艺,PN结深可以达到300nm,大大提高电池蓝光响应,利用等离子体注入掺杂替代扩散工艺,制备的多晶硅电池效率达到17％.利用原子层沉积氧化铝薄膜,对P型硅电池进行背表面钝化,少子寿命提高一个数量级,制备氧化铝背场钝化的P型多晶硅电池效率高达18.3％.针对以上新型的晶硅太阳能电池工艺,对适合于电池生产的等离子体浸没离子注入装备和多片式原子层沉积装备进行了详细的研究.
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