研制用于固体分析的脉冲辉光放电垂直引入式飞行时间质谱

来源 :第五届全国原子光谱及相关技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wobuwanlebuxingma
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  固体样品分析在矿产、冶金、陶瓷和半导体工业等领域具有重要地位,目前针对固体样品的质谱分析法主要有溶液分析和固体直接分析。其中溶液分析操作繁琐、耗时,又容易引入污染。而固体直接分析法,通过电离技术直接将样品离子化,再由质谱进行分析。目前常用的固体直接分析技术手段有辉光放电质谱(GDMS)、二次离子质谱(SIMS)、激光电离质谱(LIMS)等[1-3]。
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