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固体样品分析在矿产、冶金、陶瓷和半导体工业等领域具有重要地位,目前针对固体样品的质谱分析法主要有溶液分析和固体直接分析。其中溶液分析操作繁琐、耗时,又容易引入污染。而固体直接分析法,通过电离技术直接将样品离子化,再由质谱进行分析。目前常用的固体直接分析技术手段有辉光放电质谱(GDMS)、二次离子质谱(SIMS)、激光电离质谱(LIMS)等[1-3]。