硫化锌交流电致发光薄膜的表面结构

来源 :全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ancdtang
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对研制的掺铒硫化锌交流电致发光薄膜,进行表面的X射线衍射(XRD)、x射光电子能谱(XPS)测量,研究认为,薄膜多晶的沉积有择优取向的趋势,发现表层碳、氧主要来源于表面吸附与沾污,严重影响器件质量。
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