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Improvement of GaN Quality on Si (111) Using SiNx Interlayer by MOCVD
【作 者】
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【机 构】
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State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University 135 Xingan
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年期
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