消影透明导电薄膜的光学设计与制备

来源 :2015年全国玻璃科学技术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq345071009
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通过在玻璃两侧增加减反层,利用TFCalc软件优化设计得到消影增透透明导电薄膜:rrO/siO2/Nb2O5/玻璃/Nb2O5/SiO2/Nb2O5/SiO2.采用脉冲直流电源磁控反应溅射制备消影膜.测试表明,ITO面电阻为60Ω/□时,可见光平均透过率大于85%,颜色呈中性(丨a*丨、丨b*丨小于0.4),色差△a*、△b*小于0.5,因此该膜系可以有效减小触摸屏中透明导电薄膜受蚀刻与未受蚀刻区域之间的显示差异.
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