【摘 要】
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电子探针利用高能的聚焦电子束照射试样的表面，在微米级的区域内激发出大量携带着各种信息的量子信号，同时由于电子探针具备一套与电子光学系统共分析点的光学系统，可以直接地对样品的分析区域和分析点进行观察并确定分析位置，对选择位置进行精确的的定性、定量和元素分布等元素分析。因此，电子探针是材料表面微区元素分析的利器。
【出 处】
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第十六届全国电介质物理、材料与应用学术会议
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电子探针利用高能的聚焦电子束照射试样的表面，在微米级的区域内激发出大量携带着各种信息的量子信号，同时由于电子探针具备一套与电子光学系统共分析点的光学系统，可以直接地对样品的分析区域和分析点进行观察并确定分析位置，对选择位置进行精确的的定性、定量和元素分布等元素分析。因此，电子探针是材料表面微区元素分析的利器。
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