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为分析微区成分测量过程中的不确定度来源，采用电子探针波长色散谱仪对钢中硅含量进行测量，并对测量结果进行不确定度评定，给出合成不确定度、扩展不确定度和不确定度报告。测量不确定度评定结果表明：标样的不确定度对测量不确定度影响最大，增加测量次数可有效降低测量重复性和试样不均匀性引入的不确定度分量和工作曲线的不确定度分量。