【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战.本文采用激光短脉冲步进式加热方法作用于微通道内的流体,使之发生相变与定向流动.通
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学学术会议
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微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战.本文采用激光短脉冲步进式加热方法作用于微通道内的流体,使之发生相变与定向流动.通过对这种热驱流动的技术途径.实验表明,热驱动泵的本质是一种不稳定的气液两相流动,液体的移动与压差和气泡在微通道内的行为有密切联系.
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