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５１１所的ＫＭ３设备，是一个容积为７０ｍ〈’３〉的大型空间模拟器。１９９３年将原来用油扩散泵做主抽气泵的有油抽气系统，改造成为用制冷机低温泵为主泵的无油抽气系统，并将系统的空载极限真空由９．３×１０〈’－７〉Ｐａ提高到５×１０〈’－８〉Ｐａ。经主要由中国真空学会在北京的常务理事组成的鉴定委员会确认：该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白，而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念，深入分析了各种气体成份的影响，成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题，为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。