准矩形有源光波导的设计与制备

来源 :第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hzfeng163

【摘要】

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研究了一种准矩形有源光波导的设计与制备。利用溶胶凝胶法合成有机/无机杂化电光材料，旋涂在长有SiO2的si衬底上作为波导芯层。利用光刻、显影和等离子体刻蚀(ICP)工艺，使旋涂

【作者】

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孙小强;高磊;孙杰;高伟男;康彩萍;郑红丽;王菲;张大明;

【机构】

：

集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012

【出处】

：

第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议

【发表日期】

：

2009年期

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研究了一种准矩形有源光波导的设计与制备。利用溶胶凝胶法合成有机/无机杂化电光材料，旋涂在长有SiO2的si衬底上作为波导芯层。利用光刻、显影和等离子体刻蚀(ICP)工艺，使旋涂在电光材料层上的甲基丙烯酸甲酯-环氧丙酯共聚物(PMMA-GMA)与电光材料共同构成M-Z(Mach-Zehnder)准矩形电光调制器波导。经测试可获得良好的近场光输出。

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