【摘 要】
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ZnO-TCO薄膜具有原材料丰富，易于形成绒面结构特征及强等离子体环境中抗还原能力等优点成为当前研究的重点和热点。杂质掺杂型的ZnO薄膜(如BZO和AZO等)具有较低电阻率和高稳定性能。绒面结构有助于减少界面反射，提高光学散射，增加入射光在吸收层的光程，有效提高薄膜电池短路电流密度，从而提高太阳电池光电转化效率。
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,南开大学光电信息技术科学教育部实验室,天津300071
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ZnO-TCO薄膜具有原材料丰富，易于形成绒面结构特征及强等离子体环境中抗还原能力等优点成为当前研究的重点和热点。杂质掺杂型的ZnO薄膜(如BZO和AZO等)具有较低电阻率和高稳定性能。绒面结构有助于减少界面反射，提高光学散射，增加入射光在吸收层的光程，有效提高薄膜电池短路电流密度，从而提高太阳电池光电转化效率。
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