【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射技术制备出ZrNbTiN 多层涂层,并表征出涂层的微观结构特性及力学性能.结果 表明：在调制周期为10nm,ZrN/NbTiN 为7：3 时,涂层展示最大硬度为45GPa,涂层结合强度为80N.ZrNbTiN 多层涂层展示为具有(111)取向的FCC 结构.
【机 构】
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重庆科技学院新能源转换及无源传感应用技术研究所,重庆沙坪坝,401331
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采用非平衡磁控溅射技术制备出ZrNbTiN 多层涂层,并表征出涂层的微观结构特性及力学性能.结果 表明：在调制周期为10nm,ZrN/NbTiN 为7：3 时,涂层展示最大硬度为45GPa,涂层结合强度为80N.ZrNbTiN 多层涂层展示为具有(111)取向的FCC 结构.
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