【摘 要】
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本文利用Co90Fe10靶,采用电子束真空蒸发方法制备了CoFe薄膜,研究了薄膜厚度、退火处理对C090Fe10薄膜电特性的影响,以及厚度对磁电阻特性的影响．实验发现,薄膜电阻率随厚度的
【机 构】
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北京科技大学数理学院物理系北京100083
【出 处】
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2011年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会
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本文利用Co90Fe10靶,采用电子束真空蒸发方法制备了CoFe薄膜,研究了薄膜厚度、退火处理对C090Fe10薄膜电特性的影响,以及厚度对磁电阻特性的影响．实验发现,薄膜电阻率随厚度的增加而减小,样品厚度较小时,厚度对电阻率的影响较大,450℃退火后,样品电阻率明显较小．室温沉积态,各向异性磁电阻率随样品厚度的增加略有增大,最大磁电阻率约为0．18％．
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