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基于萤石和发烟硫酸的反应原理,分析了无水氟化氢(anhydroushydrogen fluoride,AHF)气体中的杂质来源。通过X荧光光谱分析了萤石原料成分及含量,采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)等测试技术,分析和比较了AHF气体经过粗滤后杂质颗粒的成分、形貌和大小。结果表明,AHF气体中的杂质颗粒呈六角形状态,其大小约为40μm×20μm,主要成分含有S和Fe元素。