MEMS惯性仪表发展趋势

被引量 : 0次 | 上传用户:cnm008
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
MEMS惯性仪表具有体积小、可批量生产、成本低等优点。随着相关技术发展,MEMS惯性仪表在多个领域得到了广泛应用。本文介绍了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性仪表工艺技术的发展现状,并对MEMS惯性仪表的发展前景做了展望。
其他文献
<正> 根据WHO报告,SARS在65岁以上年龄组的病死率在50%以上。对此,不论从中医“温邪上受,首先犯肺”、“邪之所凑,其气必虚”的传统理论看,还是从老年生理状态和老年微生态角
会议
你想保持完美的容颜吗?你想打造无皱的皮肤吗?这些完全由你的日常生活习惯决定。
大气温湿度廓线是描述大气热力和动力状态变化的重要参数。传统的系留气球探测方法可以在多种复杂天气条件下进行观测,但是运作耗费大,探测频率低,而地基微波辐射计具有全天
精神病病人是一种特殊的人群,多种原因引起患者的营养失调,影响治疗效果,不利于疾病的康复.1997年1月~2002年2月,笔者对60例住院精神病病人加强了饮食观察及饮食护理,取得了满