【摘 要】
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薄层材料在医学、微电子、汽车和航空航天工业中有着广泛应用,对薄层材料的无损表征具有重要的意义.本文提出了一种基于超声相控阵测量薄层材料参数的检测方法.首先计算声波
【机 构】
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同济大学声学研究所,上海200092
【出 处】
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2017年西安-上海声学学会第五届声学学术会议
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薄层材料在医学、微电子、汽车和航空航天工业中有着广泛应用,对薄层材料的无损表征具有重要的意义.本文提出了一种基于超声相控阵测量薄层材料参数的检测方法.首先计算声波在薄层中的反射系数,并分析反射系数与薄层材料参数的关系,以及入射波频率、角度等对反射系数的影响.其次,对换能器阵列产生的平面波声场进行建模仿真,分析发射和接收信号,结合理论计算的反射系数,反演得出待测材料的声速、厚度等参数,以此为基础确定反演方法.最后,使用该方法对钢等薄层材料进行测量,所得结果与传统方法得出的数据对比,验证了该方法的可行性.
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