【摘 要】
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Background, Motivation and Objective Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) is the most widely used for piezoelectric devices, because it has high piezoelectric constants over a wide range of temperature.However, it conta
【机 构】
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Graduate school, Tohoku University, Sendai, Miyagi, Japan
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Background, Motivation and Objective Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) is the most widely used for piezoelectric devices, because it has high piezoelectric constants over a wide range of temperature.However, it contains lead at high concentration.Nowadays, lead-free piezoelectric films have been widely studied for the next-generation piezoelectric devices.(K,Na)NbO3 (KNN) is one of the candidates of the replacement, because its d31 is around 100 pm/V, which is equivalent to that of PZT.However, the material constants and acoustic properties of the KNN film have not been measured yet.In this research, we develop a method to measure the acoustic properties of a (001)-oriented KNN film deposited on a blanket platinum film.
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