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新型光导碲镉汞探测器表面钝化研究
新型光导碲镉汞探测器表面钝化研究
来源 :第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiayunyangls
【摘 要】
:
文中报导了一种新型HgCdTe光导探测器钝化技术的研究及实验结果.介绍了新型钝化膜的制备及XPS能谱分析、SME表面观测,并与传统阳极钝化膜进行了分析比较.实验结果表明,新型钝
【作 者】
:
许蓉
【机 构】
:
航天机电集团三院八三五八研究所(天津)
【出 处】
:
第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
光导探测器
碲镉汞探测器
钝化膜
阳极
实验
能谱分析
膜的制备
具体结果
钝化技术
响应率
探测率
电阻值
应用
器件
观测
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文中报导了一种新型HgCdTe光导探测器钝化技术的研究及实验结果.介绍了新型钝化膜的制备及XPS能谱分析、SME表面观测,并与传统阳极钝化膜进行了分析比较.实验结果表明,新型钝化膜的应用比传统阳极钝化膜的器件在电阻值、响应率D*、探测率有较大幅度提高,具体结果文章中给出.
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