大尺寸固相颗粒电化学复合沉积工艺的关键技术

来源 :2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alei1001
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边缘效应和结瘤现象是大颗粒电化学复合沉积工艺中的突出问题.本文针对性地提出非电屏蔽和反向刻蚀两项解决措施,并通过工艺试验证了其有效性.
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