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本文介绍了一种利用相位偏移干涉技术来测量微小角度的方法，建立了一种二维微小角度的测量系统，验证了该系统测量角度的分辨力优于0.01"。同时对PI的二维柔性纳米工作台运作过程中的姿态变化进行了测量，得到了X、Y工作台移动中平面转角变化测量结果，并利用激光小角度干涉仪进行了相关测量点的对比实验，实验表明利用相位偏移干涉法可以实现微小角度的高精确测量。