【摘 要】
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本研究以定齿偏置梳齿闭环电容加速度计为例，阐述了其工作原理，建立了其力学模型，给出了相应的力平衡方程。通过分析，得到了反映和影响加速度计性能的静电力、量程、稳定性、灵敏
【机 构】
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河南工业职业技术学院电气工程系,河南 南阳 473009
【出 处】
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全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会
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本研究以定齿偏置梳齿闭环电容加速度计为例，阐述了其工作原理，建立了其力学模型，给出了相应的力平衡方程。通过分析，得到了反映和影响加速度计性能的静电力、量程、稳定性、灵敏度等关键物理量的具体表达形式。研究结果表明，加速度计的性能和折叠梁的尺寸，检测质量块质量、极板面积、偏置电压、反馈电压等因素有关。
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