【摘 要】
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真空镀膜离不开先进的电源技术。真空镀膜中电源种类也不尽相同,包括蒸发电源、磁控溅射电源、阴极弧电源、偏压电源、离子注入电源、高压电源、溅射清洗电源等等。随着人们
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真空镀膜离不开先进的电源技术。真空镀膜中电源种类也不尽相同,包括蒸发电源、磁控溅射电源、阴极弧电源、偏压电源、离子注入电源、高压电源、溅射清洗电源等等。随着人们对薄膜质量和性能的不断追求,这些电源技术也不断发展。近些年复合电源技术受到了人们重视,因为它使得控制变得更加灵活,产生的效果也更加明显。本文介绍我们研究所在复合电源研制方面的工作,其中包括复合偏压电源(直流1kV+脉冲1kV)、射频和高压同轴耦合电源(40kV)、直流和射频耦合电源以及高功率磁控溅射电源(20kW)等等,重点介绍高功率脉冲磁控(HPPMS)溅射电源放电特性,HPPMS放电模式可以显著提高磁控溅射离化率。
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