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基于面阵CCD光电自准直方法是在传统光学自准直仪的基础上，利用CCD代替测微目镜，采集分划板十字及其返回像，再经过软件算法求得两个十字像间的像素距离，从而实现小角度测量。与传统光学自准直仪相比，该方法可避免人为因素带来的误差，使测量过程更加快捷、便利，极大地提高了测量效率，适用于数控机床定位精度的自动化检测。