【摘 要】
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本文利用溶胶-凝胶法在玻璃基板上制备了 Al/Zn原子掺杂比例为0～0.25的掺铝氧化锌(ZnO∶Al或AZO)薄膜,随后分别将其在空气,氧气和氮气三种不同气氛中退火处理,研究了薄膜的光
【机 构】
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西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048
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本文利用溶胶-凝胶法在玻璃基板上制备了 Al/Zn原子掺杂比例为0～0.25的掺铝氧化锌(ZnO∶Al或AZO)薄膜,随后分别将其在空气,氧气和氮气三种不同气氛中退火处理,研究了薄膜的光学、电学与结构方面的性质.X射线衍射分析表明AZO薄膜是具有c轴择优取向的六方纤锌矿结构多晶体；通过紫外-可见光分光计测定表明该薄膜在可见光范围内具有大于80％的高透过率,随着铝掺杂比例的增大光学能隙增大且吸收边向短波方向移动；电阻通过范德堡法测量,经700℃、20s退火处理的薄膜电阻率明显下降,其中铝锌比例为0.03的AZO薄膜具有最小的电阻率ρ=0.22Ω·cm.
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