【摘 要】
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纳米/微米尺度的金属和非金属材料加工需求不断提高,对于微纳米尺度的加工方法提出了更高的要求.但普通的微细电火花和电化学方法受到尺度的限制，很难在工件或样品上加工出100
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室,上海200240
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纳米/微米尺度的金属和非金属材料加工需求不断提高,对于微纳米尺度的加工方法提出了更高的要求.但普通的微细电火花和电化学方法受到尺度的限制，很难在工件或样品上加工出100 nm以下的结构或图形.对基于扫描隧道显微镜(STM)的纳米尺度放电加工方法进行了研究,介绍了其方法和原理.通过在石墨样品上施加的偏压加工,调整电压参数,研究其放电特性和纳米尺度的材料蚀除性能.获得了小于100 nm的加工孔径,分析了加工表面的形貌,对基于扫描隧道显微镜进行纳米尺度的放电加工方法的可行性和精度进行了研究.
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