【摘 要】
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根据萤石和浓硫酸反应的基本原理,采用聚四氟乙烯膜滤除无水氟化氧(anhydrous hydrogen fluoride,AHF)气体中的亚微米及纳米级颗粒。采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)
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根据萤石和浓硫酸反应的基本原理,采用聚四氟乙烯膜滤除无水氟化氧(anhydrous hydrogen fluoride,AHF)气体中的亚微米及纳米级颗粒。采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析(EDS)等测试技术,考察了滤除杂质的形貌、大小及成分。并进一步讨论了杂质的来源和形成机理。结果表明,该膜不仅耐AHF气体腐蚀,而且可有效去除AHF气体中亚微米及纳米级杂质。杂质的形貌呈球状或不规则块状颗粒,直径分布范围为0.1～1μm,其丰要成分为F,其次为S、P、Fe、Si等元素。上述结果有利于进一步提纯AHF气体,并为提高氟化工相关产品的物化性能提供了充实的理论基础和技术支撑。
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