ICP-MS在半导体/高纯材料分析领域的应用

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【摘要】

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<正>ICP-MS简介ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)即电感耦合等离子体质谱,可分析几乎地球上所有元素(Li-U)ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试

【作者】

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陈登云

【机构】

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安捷伦科技有限公司;

【发表日期】

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2005年期

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<正>ICP-MS简介ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)即电感耦合等离子体质谱,可分析几乎地球上所有元素(Li-U)ICP-MS技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以独特的接口技术将ICP的高温(7000K)电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的元素和同位素分析技术,该技术提供了极低的检出

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