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利用PS小球在液面的自组装特性,制备出了单层、密排的PS小球模板.通过反应离子刻蚀将小球减薄至合适的尺寸,并利用银催化腐蚀方法制备出了形态分立、线径均匀的硅纳米线阵列.
PS小球模板法制备小尺寸硅纳米线阵列
【摘 要】
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利用PS小球在液面的自组装特性,制备出了单层、密排的PS小球模板.通过反应离子刻蚀将小球减薄至合适的尺寸,并利用银催化腐蚀方法制备出了形态分立、线径均匀的硅纳米线阵列.
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系,北京100084
【出 处】
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2012年中国腐蚀与防护学会能源工程专业委员会学术交流会暨2012年能源材料学术交流会议
【发表日期】
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2012年7期
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