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永久性气体杂质的检测一直以来是硅烷分析的难点。在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自动控制,数据处理等。
氦离子化色谱仪在电子气体(硅烷)分析中的应用
【摘 要】
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永久性气体杂质的检测一直以来是硅烷分析的难点。在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法,样品后处理,色谱柱切割与反吹,进样阀吹扫,自
【机 构】
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上海华爱色谱分析技术有限公司,上海 200437
【出 处】
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2009全国特种气体第十三次年会
【发表日期】
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2009年期
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