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采用不同摩尔比的甲基乙烯基二氯硅烷和乙烯基三氯硅烷混合液,以乙二醇二甲醚作为反应溶剂,在反应釜内进行氨解反应,反应后的产物经副产物和溶剂分离后,得到聚氮硅烷,之后对先驱体进行1100℃裂解,制得相应的SiCN(O)材料。随着乙烯基三氯硅烷在溶液中含量的增加,陶瓷产率亦随之增加,陶瓷产率与乙烯基三氯硅烷的含量表现出明显的非线性关系,并体现出无序共聚的特点。