色谱/质谱联用法测定三氟化氮中痕量氧化二氮

来源 :第十五次全国色谱学术报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lan2009908

【摘要】

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本文利用GC/MS选择离子监测(SIM)方式测定高纯NF3中痕量N2O,选择m/z为44的碎片离子代表N2O进行定量,同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况,从而实现了对高纯NF3

【作者】

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韦桂欢闫云张洪彬

【机构】

：

天津大学化工学院,天津,300072

【出处】

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第十五次全国色谱学术报告会

【发表日期】

：

2005年期

【关键词】

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色谱柱质谱联用法测定干扰三氟化氮痕量选择离子监测碎片离子分离组分定量选择性工艺气物流考察方法

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本文利用GC/MS选择离子监测(SIM)方式测定高纯NF3中痕量N2O,选择m/z为44的碎片离子代表N2O进行定量,同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况,从而实现了对高纯NF3中痕量N2O的准确定量.该方法简单、准确、选择性好,用于对色谱柱不能完全分离组分SF6的测定取得了满意的效果.

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