ZrW2O8薄膜的制备及热膨胀性质

来源 :第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：by090706

【摘要】

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　　本文采用溶胶-凝胶技术结合快速退火工艺在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备ZrW2O8薄膜，并研究了退火温度、退火时间对薄膜结构，形貌的影响。利用X射线衍射(XRD)及扫描电

【作者】

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LI Gang 李刚 LIU Ning 柳宁 LIU Haihong 刘海宏 LI Lin 李琳 WANG Li-na 王莉娜 WANG Li-bin 王立斌

【机构】

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CollegeofChemistryandChemicalEngineering,HarbinNormalUniversity,HeilongjiangHarbin150025,China哈尔滨师范大

【出处】

：

第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

【发表日期】

：

2012年7期

【关键词】

：

薄膜材料制备工艺热膨胀性质结构表征

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　　本文采用溶胶-凝胶技术结合快速退火工艺在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备ZrW2O8薄膜，并研究了退火温度、退火时间对薄膜结构，形貌的影响。利用X射线衍射(XRD)及扫描电镜(SEM)对薄膜的物相及表面形貌进行表征；利用变温XRD研究薄膜的热膨胀性能。薄膜的变温XRD结果表明，在室温～700℃温度范围内，随着温度的升高，(211)和(310)晶面间距变小，其热膨胀系数为负值，而(332)晶面间距随温度升高变大，显示出正膨胀性质。这表明ZrW2O8薄膜材料的热膨胀性能是各向异性的。

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