【摘 要】
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由于受到整机市场价格下降的压力,现在用于功率器件的外延片价格越来越便宜,但用户对硅片的质量要求却越来越高.因此,对于外延厂商来说,在稳定和提高质量的同时,必须要提高产率,才能降低成本.外延片的质量检测有两种,一种是破坏性的.另一种是非破坏性的,如表面强光检查,参数测试、或者金属含量分析深入检查.通过强光检测,表面有缺陷的硅片被判为不合格品(雾、黑点、钉、颗粒)等.但是雾的程度很难判断,因此经常发生
【机 构】
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河北普兴电子材料有限公司,050051
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
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由于受到整机市场价格下降的压力,现在用于功率器件的外延片价格越来越便宜,但用户对硅片的质量要求却越来越高.因此,对于外延厂商来说,在稳定和提高质量的同时,必须要提高产率,才能降低成本.外延片的质量检测有两种,一种是破坏性的.另一种是非破坏性的,如表面强光检查,参数测试、或者金属含量分析深入检查.通过强光检测,表面有缺陷的硅片被判为不合格品(雾、黑点、钉、颗粒)等.但是雾的程度很难判断,因此经常发生过严的检验,本文主要讨论外延片表面雾是否合格的判定问题.
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采用金相法和SEM方法研究了TC21钛合金经准β锻造后获得网篮组织,再在(α+β)两相区进行锻造时不同变形最对显微组织的影响规律以及室温拉伸断口形貌.结果显示:两相区锻造时的不同变形量对显微组织的影响较大,变形量为0％～30％时,片状α相保持较高的长宽比,显微组织为粗大的网篮状组织,室温拉伸断口的形貌为韧窝,韧窝大小分布不均匀,尺寸较小,韧窝的深度也较浅:变形量为50％～75％时,片状α相破碎并且
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